洁净空调系统设计
3.1 洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,净化手术室公司,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。
洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32
nm线宽的高端处理器芯片,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,净化手术室哪家好,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24
h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。
洗手消毒设施 车间入口处要设置有与净化车间内人员数量相适应的洗手消毒设施,洗手龙头所需配置的数量,配置比例应该为每 10 人1 个,200 人以上每增加20人增设1个。洗手龙头必须为非手动开关,洗手处须有皂液器,并有热水供应,出水为温水。 盛放手消毒液的容器,在数量上也要与使用人数相适应,并合理放置,以方便使用。干手用具必须是不会导致交叉污染的物品,如一次性纸巾,消毒毛巾等。 在净化车间内适当的位置,应安装足够数量的洗手,消毒设施和配备 相应的干手用品,以便工人在生产操作过程中定时洗手,消毒,或在弄脏手后能及时和方便地洗手。 从洗手处排出的水不能直接流淌在地面上,要经过水封导入排水管。
卫生间 为了便于生产卫生管理,与净化车间相连的卫生间,净化手术室,不应设在加工作业区内,可以设在更衣区内。卫生间的门窗不能直接开向加工作业区,卫生间的墙面,地面和门窗应该用浅色,易清洗消毒,耐腐蚀,净化手术室价格,不渗水的材料建造,并配有冲水,洗手消毒设施,窗口有防虫蝇装置。